Teknụzụ okirikiri ihe nkiri dị mkpa

Teknụzụ sekit ihe nkiri dị gịrịgịrị na-ezo aka n'ịmepụta akụrụngwa eletrọnịkị site na iji fotolithography mgbe etinyere mkpụrụ osisi ahụ n'ime ihe nkiri dị mkpa. Teknụzụ a abụrụla ụzọ a kacha amasị maka ịme sekit microstrip n'ihi oke akụrụngwa akụrụngwa ya, oke izizi ya, ezigbo nkwụkọ ọnụ, ntụkwasị obi dị elu, yana ezigbo ọnọdụ okpomọkụ{1} A na-etinye ya na ngwa eletrọnịkị ahụike, kọmpụta dị elu{3}, ngwa agha na akụrụngwa, ikuku ikuku na mpaghara ndị ọzọ.

Ọdịnihu nke ngwaahịa sekit ihe nkiri dị gịrịgịrị na-adabere n'akụkụ usoro nha nha nke nta, ogo eserese dị elu na izi ezi, ntụkwasị obi ka mma, belata olu, yana ụgbụ ngwa ngwa dị elu.

Punching → Sputtering → Ihe nkiri Layer Thickening→ Photoetching → Scratching → Nnwale

1,Nnwale ihe: Ọdịdị
Ngwa ule: Stereomicroscope
Uzo nnwale: Usoro GJB548B 2032
Nka nka: 80% nke akụkụ eserese ezuola, ọ nweghịkwa ihe mpụta igwe a na-ahụ anya na mpaghara ndị na-abụghị{1}

2, Ihe Nnwale: N'ozuzu oke
Ngwa ule: Vernier Caliper, Eletrọnịkị Micrometer, Ngwa Ihe Nleba Foto
Uzo ule:GJB548B,Uzo 2016
Ndekọ nka nka:

3,Ihe Nnwale: Lithographic Metal Graphics
Ngwaọrụ Nleba: Ngwa eji atụ onyonyo, igwe microscope Metallographic
Uzo ule:GJB548B,Uzo 2016
Ndekọ nka nka:

4,Nnwale ihe: Membrane Adhesion
Ngwa ule: 3M610 teepu nrapado
Uzo nnwale: ASTM B571-97 Usoro nnwale teepu
Nka na ụzụ : N'okpuru microscope 40X, ọ dịghị ihe ọ bụla peeling hụrụ na oyi akwa akpụkpọ ahụ n'ụdị ọ bụla.

5,Ihe Nnwale:Elu Okpomọkụ Nguzogide nke Membrane Layer
Ngwa Nnwale: Okpokoro Na-ekpo ọkụ
Ule ule: Nọgide na 400 degrees maka 10 nkeji
Ndekọ nka nka: N'okpuru microscope 40X, enweghị mwepu, peeling, blistering, ma ọ bụ peeling nke oyi akwa n'ụdị ọ bụla.

6, Nka na ụzụ ndị ọzọ

Ihe nchịkọta dị ọkụ: teknụzụ sekit ihe nkiri dị warara , China mkpa ihe nkiri sekit teknụzụ ndị na-emepụta ihe, ndị na-ebu, ụlọ ọrụ